50 nm vertical replacement-gate (VRG) pMOSFETs

Sang Hyun Oh, J. M. Hergenrother, T. Nigam, D. Monroe, F. P. Klemens, A. Kornblit, W. M. Mansfield, M. R. Baker, D. L. Barr, F. H. Baumann, K. J. Bolan, T. Boone, N. A. Ciampa, R. A. Cirelli, D. J. Eaglesham, E. J. Ferry, A. T. Fiory, J. Frackoviak, J. P. Garno, H. J. GossmannJ. L. Grazul, M. L. Green, S. J. Hillenius, R. W. Johnson, R. C. Keller, C. A. King, R. N. Kleiman, J. T.C. Lee, J. F. Miner, M. D. Morris, C. S. Rafferty, J. M. Rosamilia, K. Short, T. W. Sorsch, A. G. Timko, G. R. Weber, G. D. Wilk, J. D. Plummer

Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

17 Scopus citations

Fingerprint

Dive into the research topics of '50 nm vertical replacement-gate (VRG) pMOSFETs'. Together they form a unique fingerprint.

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy